(1. 中国电子科技集团公司第二十四研究所, 重庆 400060;2. 集成电路与微系统全国重点实验室, 重庆 400060)
姚传建(1999—),男(汉族),湖南长沙人,硕士研究生,研究方向为高压功率半导体器件。 谭开洲(1969—),男(汉族),四川营山人,博士,研究员,从事硅基器件与工艺研究。通信作者。
TN386
( 1. The 24th Research Institute of China Electronics Technology Group Corporation, Chongqing 400060, P. R. China ;2. National Key Laboratory of Integrated Circuits and Microsystems, Chongqing 400060, P. R. China )