(1. 四川大学 物理学院 微电子技术四川省重点实验室, 成都 610064;2. 四川大学 辐射物理及技术教育部重点实验室, 成都 610064;3. 贵州师范大学 集成电路研究院, 贵州 550025;4. 中国科学院微电子研究所 集成电路制造技术国家重点实验室, 北京 100029)
朱旭昊(1998—),男(汉族),山西太原人,硕士研究生,从事铁电存储器抗辐照效应研究工作。 马 瑶(1979—),女(汉族),重庆人,博士,副教授,从事半导体材料及器件的辐照效应及可靠性分析。通信作者。
TN384
强脉冲辐射环境模拟与效应国家重点实验室专项经费资助(SKLIPR2109)
(1. Key Laboratory of microelectronics, College of Physics, Sichuan University, Chengdu 610064, P. R. China;2. School of Integrated Circuits Key Laboratory of microelectronics, College of Physics, Sichuan University, Chengdu 610064, P. R. China;3. Institute of Integrated Circuits, Guizhou Normal University,Guizhou 550025, P. R. China;4. State Key Laboratory of Fabrication Technologies for Integrated Circuits, Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, P. R. China)